|
等级
|
每立方米(升)空气中》0.5μm尘粒数
|
每立方米(升)空气中》5μm尘粒数
|
|
100
|
《35*100(〈3.5〉
|
|
|
1000
|
《35*1000(〈35〉
|
《250(〈0.25〉
|
|
10000
|
《35*10000(〈350〉
|
《2500(〈2.5〉
|
|
100000
|
《35*100000(〈3500〉
|
《25000(〈25〉
|
|
等级名称
|
等级限值
|
||||||||||
|
0.1μm
|
0.2μm
|
0.3μm
|
0.5μm
|
5μm
|
|||||||
|
容积单位
|
容积单位
|
容积单位
|
容积单位
|
容积单位
|
|||||||
|
国际单位
|
英制
单位
|
m3
|
Ft3
|
m3
|
Ft3
|
m3
|
Ft3
|
m3
|
Ft3
|
m3
|
Ft3
|
|
M1.0
|
|
350
|
9.91
|
75.7
|
2.14
|
30.9
|
0.875
|
10
|
0.283
|
/
|
/
|
|
M1.5
|
1
|
1240
|
35.0
|
265.0
|
7.5
|
106
|
3
|
35.3
|
1
|
/
|
/
|
|
M2.0
|
|
3500
|
99.1
|
757
|
21.4
|
309
|
8.75
|
100
|
2.83
|
/
|
/
|
|
M2.5
|
10
|
12400
|
350.0
|
2650
|
75
|
1060
|
30
|
353
|
10
|
/
|
/
|
|
M3.0
|
|
35000
|
991.0
|
7570
|
214
|
3090
|
87.5
|
1000
|
28.3
|
/
|
/
|
|
M3.5
|
100
|
/
|
/
|
26500
|
750
|
10600
|
300
|
3530
|
100
|
/
|
/
|
|
M4.0
|
|
/
|
/
|
75700
|
2140
|
30900
|
875
|
10000
|
283
|
/
|
/
|
|
M4.5
|
1000
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
35300
|
1000
|
247
|
7
|
|
M5.0
|
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
100000
|
2830
|
618
|
17.5
|
|
M5.5
|
10000
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
353000
|
10000
|
2470
|
70
|
|
M6.0
|
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
1000000
|
28300
|
6180
|
175
|
|
M6.5
|
100000
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
3530000
|
100000
|
24700
|
700
|
|
M7.0
|
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
10000000
|
283000
|
61800
|
1750
|
|
生物
洁净
室标准
|
尘埃
|
生物粒子
|
压力
|
温度
|
湿度
|
气流
|
照度
|
||
|
粒径
(μm)
|
个/L
|
浮游量
(个/L)
|
浮沉量
(个/┫周)
|
┨H2O
|
℃
|
%
|
换气
次数
|
Lx
|
|
|
100
|
≥0.5
|
≤3.5
|
≤0.0035
|
12900
|
≥1.25
|
指定数
|
40~45
|
|
1000~1620
|
|
10000
|
≥0.5
≥5.0
|
≤350
≤2.3
|
≤0.0176
|
64600
|
≥1.25
|
|
|||
|
100000
|
≥0.5
≥5.0
|
≤3500
≤23
|
≤0.0884
|
323000
|
≥1.25
|
||||
|
粒径(μm)
|
洁净度等级(个/m3)
|
|||||||
|
1级
|
2级
|
3级
|
4级
|
5级
|
6级
|
7级
|
8级
|
|
|
0.1
|
101
|
102
|
103
|
104
|
105
|
106
|
107
|
108
|
|
0.2
|
2
|
24
|
236
|
2360
|
23600
|
|
|
|
|
0.3
|
1
|
10
|
101
|
1010
|
10100
|
101000
|
1010000
|
10100000
|
|
0.5
|
0.35
|
3.5
|
35
|
350
|
3500
|
35000
|
350000
|
3500000
|
|
5.0
|
/
|
/
|
/
|
/
|
29
|
290
|
2900
|
29000
|
|
地区
|
计重浓度
|
计数浓度(≥0.5μm)
|
|
|
mg/m3
|
个/L
|
个/ m3
|
|
|
市区
|
0.1~0.35
|
5x104~23.3x104
|
15x105~70x105
|
|
郊区
|
0.05~0.3
|
2x104~10x104
|
10x105~30x105
|
|
农村
|
0.01~0.1
|
1x104~3.3x105
|
3x105~10x105
|
|
序号
|
人员动作
|
普通工作服
|
洁净工作服
|
|
|
分套型
|
全套型
|
|||
|
1
|
立
|
339000
|
113000
|
5580
|
|
2
|
坐
|
302000
|
112000
|
7420
|
|
3
|
臂上下运动
|
2980000
|
298000
|
18600
|
|
4
|
上体前屈
|
2240000
|
538000
|
24200
|
|
5
|
臂自由运动
|
2240000
|
298000
|
20600
|
|
6
|
头部运动
|
631000
|
151000
|
11000
|
|
7
|
上体转动
|
850000
|
266000
|
14900
|
|
8
|
屈身
|
3120000
|
605000
|
37400
|
|
9
|
踏步
|
2800000
|
861000
|
44600
|
|
10
|
步行
|
2920000
|
1010000
|
56000
|
|
序号
|
工作服型式及材料
|
动作
|
|
|
坐(四肢、头部自由活动)
|
走动
|
||
|
1
|
全套型粗织尼龙工作服
|
38.3x104
|
322x104
|
|
2
|
分套型密织尼龙工作服
|
18.1x104
|
128x104
|
|
3
|
分套型密织尼龙工作服
内衬的确良工作服
|
7.2x104
|
73.8x104
|
|
4
|
棉的确良工作服
|
20.5x104
|
108x104
|
|
5
|
电力纺工作服
|
101x104
|
677x104
|
|
6
|
普通服装
|
210x104
|
300x104
|
|
序号
|
建筑表面发尘量
|
资料来源
|
|
1
|
(0.8~1)*104
|
电子部十一院《设计通讯》1975年
|
|
2
|
(0.3~0.9)*104
|
电子部十一院《苏州半导体器件一厂洁净室测定》1978年
|
|
3
|
0.77*104
|
电子部十一院《北京西城半导体材料厂水平层流洁净室测定报告》1975
|
|
4
|
4.5*104
|
电子部十一院《出国考察报告》(74)0131974年
|
|
项目
粒径
|
洁净室建筑表面发尘量
{粒/(min?┫地面)}
|
人员发尘量{粒/(人?min)}
|
|
|
静止(基本静止)
|
人员正常操作
|
||
|
≥0.5μm
|
1.25*104
|
10*104
|
50*104
|
|
洁净度等级
检测项目
|
1~3
|
4~6
|
7
|
8、9
|
|
温度
|
循环监测
|
每班2次
|
||
|
湿度
|
循环监测
|
每班2次
|
||
|
压差值
|
循环监测
|
每周1次
|
每月1次
|
|
|
洁净度
|
循环监测
|
每周1次
|
每3个月1次
|
每6个月1次
|
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