洁净度等级 | 悬浮粒子最大允许数 | 近似对应传统规格 | |||
静态 | 动态 | ||||
≥0.5 μm | ≥5 μm | ≥0.5 μm | ≥5 μm | ||
A级 | 3520(ISO5) |
20 |
3520(ISO5) | 20 | 100级 |
B级 | 3520(ISO5) | 29 | 352000(ISO7) | 2900 | 1000级 |
C级 | 352000(ISO7) | 2900 | 3520000(ISO8) | 29000 | 10000级 |
D级 | 3520000(ISO8) | 29000 | 不作规定 | 不作规定 | 100000级 |